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含Si3N4和BN复合涂层的碳陶复合材料坩埚及其制备方法

970   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:32:03
本发明公开了一种含Si3N4和BN复合涂层的碳陶复合材料坩埚及其制备方法，由碳陶坩埚基体依次沉积Si3N4涂层、BN涂层制得。本发明以碳陶坩埚为基体，先在其孔隙和表面(内表面和外表面)沉积Si3N4涂层，然后再沉积BN涂层制得，本发明仅需采用单一坩埚生产单晶硅，通过碳陶坩埚基体、Si3N4涂层和BN涂层三者的协同作用，极大的提升了坩埚的高温稳定性能和抗硅蚀能力，同时坩埚表面对硅的润湿性差，避免了生产单晶硅后的硅晶粘锅难以清理，既延长了坩埚的使用寿命，又减少了坩埚更换频次和提升了单晶硅生产效率。
声明：
“含Si3N4和BN复合涂层的碳陶复合材料坩埚及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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