本发明涉及一种硅基半导体‑金属纳米
复合材料,自外而内依次包括高温保护层、等离激元吸收层以及有序硅纳米柱阵列陷光层;所述高温保护层为
氧化铝;所述等离激元吸收层为金纳米颗粒。本发明根据具有陷光特性的周期性硅纳米阵列结构,将金属溅射在上面可以拓宽硅的光吸收波段,从之前截止的1100nm拓宽到了全光谱,同时周期性纳米结构的光共振耦合吸收类光子晶体,使其吸收增强。
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