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基于二维Ti3C2Tx/MOS复合材料的气体传感器及其制备方法

696   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:29:03
本发明公开了一种基于二维Ti3C2Tx/MOS复合材料的气体传感器及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：提供平面电极基片；称取多层Ti3C2Tx材料进行插层、超声分散处理，得到少层Ti3C2Tx分散液；将所述少层Ti3C2Tx分散液滴涂于所述的平面电极基片的上表面并干燥，形成Ti3C2Tx薄膜；提供MOS靶材，通过磁控溅射在Ti3C2Tx薄膜表面沉积MOS薄膜，得到具有双层气敏材料薄膜的平面电极基片，并经后续组装，完成基于二维Ti3C2Tx/MOS复合材料的气体传感器的制备。本发明制备方法制得的传感器具有优良的灵敏度、选择性、循环稳定性以及可恢复性，且制备方法简单可靠，重复性高，适于大规模生产。
声明：
“基于二维Ti3C2Tx/MOS复合材料的气体传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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