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最高分辨率为5nm含酰胺基团含氟嵌段的纳米复合材料的制备及在DSA光刻领域的应用

1033   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:28:02
本发明公开了最高分辨率为5nm含酰胺基团含氟嵌段的纳米复合材料的制备及在DSA光刻领域的应用，构成所述纳米复合材料的嵌段聚合物的制备原料包括第一单体和第二单体，所述第一单体包括至少一种(甲基)丙烯酸酯类化合物；所述第二单体包括至少一种可功能化小分子化合物；所述可功能化小分子化合物中含有氨基。所述制备方法包括以下步骤：先将第一单体聚合制得聚合物前体，再将制得的聚合物前体与第二单体进行酯氨解的小分子反应即得。本发明方案DSA材料在纳米催化剂、纳米储能器件或纳米生物医药的制备中均具有良好的应用。与现有技术相比，该材料具有分辨率可达5nm、潜在缺陷率低、刻蚀对比度高且应用前景好等优点。
声明：
“最高分辨率为5nm含酰胺基团含氟嵌段的纳米复合材料的制备及在DSA光刻领域的应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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