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单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺

660   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:28:01
本发明公开了一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺，该方法采用聚丙烯腈基碳纤维编制的预制体，以天然气、丙烯、石油液化气的混合气体为碳源，氮气或氩气为载气，在立罐式沉积炉形成的均温热场内，定时切换管路的上进气与下进气，利用坩埚内外气体的压力差，实现均温法、压差法、强制气流法相结合，实现坩埚坯体整体的快速致密化，坩埚在300至350小时后，密度可达到1.6g/cm3以上，较传统自由沉积工艺大大缩短沉积时间，降低了生产成本。坩埚经机械加工后，用于单晶硅炉热场，炭/炭复合材料坩埚较热等静压石墨坩埚寿命提高了3至5倍，性价比明显优于石墨坩埚，大大降低了单晶硅生产的成本和劳动强度。
声明：
“单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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