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碳／碳复合材料坩埚窄流感应耦合CVD 致密化工装及化学气相沉积炉

756   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:27:02
本实用新型涉及碳/碳复合材料坩埚窄流感应耦合CVD致密化工装及化学气相沉积炉。所述致密化工装包括感应耦合工装和气流工装，所述感应耦合工装和气流工装均与碳纤维坩埚制品相适配，以形成感应电磁耦合和气体窄缝流动通道，限制气体在碳纤维坩埚制品表面交换层区流动，使流经碳纤维坩埚制品表面的气体原位热解沉积形成碳基体。所述致密化化学气相沉积炉包括真空感应化学气相沉积炉的反应室，在反应室中设有与碳纤维坩埚制品相适配的感应耦合工装和气流工装。本实用新型通过窄缝气流和感应耦合措施的协同作用下，抑制制品表面先结壳现象，使碳/碳复合材料坩埚制品快速的内外均衡致密化。
声明：
“碳／碳复合材料坩埚窄流感应耦合CVD 致密化工装及化学气相沉积炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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