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高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料及其制备方法

730   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:24:02
本发明属于高纯石墨纤维隔热复合材料技术领域，特别是涉及一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料及其制备方法。包括，碳纤维丝和粘合剂；所述碳纤维丝按照预设方向排列；碳纤维丝经过石墨化处理后形成的石墨纤维丝密度按照预设从内到外逐渐减小；所述粘合剂为酚醛树脂，所述粘合剂为液体和/或粉剂；所述石墨纤维丝90％以上沿产品圆周方向或平行于石墨纤维圆筒产品轴方向排列。解决了现有半导体硅晶棒和碳化硅晶棒中热场隔热材料纯度低，隔热效果差的技术问题。
声明：
“高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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