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用于批量合成复合材料的激光沉积设备

783   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:22:01
本发明提供一种用于批量合成复合材料的激光沉积设备，包括激光源、驱动机构、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述第二反射镜与所述第一反射镜平行，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述第二反射镜连接，以驱动所述第二反射镜沿着垂直于所述激光源的出光方向的方向移动至对应位置，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜。
声明：
“用于批量合成复合材料的激光沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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