本实用新型公开了一种C/C
复合材料气相沉积炉,包括炉体、进气系统和排气系统,所述炉体为
多晶硅铸锭炉炉体,所述炉体的底部设有进气口、顶部设有排气口,所述进气系统与进气口连接,所述排气系统与排气口连接。本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉的改造思路,对现有多晶硅铸锭炉的排气模式以及进气模式进行改造,使得多晶硅铸锭炉具备了化学气相沉积的能力,使其具备C/C复合材料预制体CVD致密化工艺的能力,合理利用了闲置的多晶硅铸锭炉,有效的节约了制造成本。
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