本发明涉及等离子体增强微波热解制备陶瓷基
复合材料的方法及装置,包括以下步骤:制备纤维预制体;将所述纤维预制体置于微波热解炉内;将所述微波热解炉抽真空;通过微波将所述微波热解炉加热至预设温度;在所述微波热解炉内施加射频电场,并通入具备非极性分子结构的烃类反应气;在预设压力及所述预设温度下,经过预设时间后,停止反应气通入,停止微波加热及射频电场;将所述纤维预制体随炉冷却至室温。本发明提供的等离子体增强微波热解制备陶瓷基复合材料的方法及装置,反应气的利用率更高,制备周期更快。
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