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基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备

1005   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:16:03
本发明提供了一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，包括智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处。
声明：
“基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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