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制备SiO/C复合材料的设备

1031   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:15:02
本发明公开了一种制备SiO/C复合材料的设备，其包括炉体，以及在炉体内部的反应室，过渡室，沉积室和真空室。在低真空度下，反应室中的固态硅和二氧化硅会在1000‑2000℃的高温下反应生成氧化硅蒸气，经过过渡室的传导进入沉积室。在此同时通入有机碳源气体，有机碳源气体在一定温度下能裂解成非晶态导电碳，它与氧化硅蒸汽相互结合，最后会在沉积室的沉积基体上共同沉积出来，得到的是内部碳层分布均匀，外部含有碳包覆层的SiO/C复合材料。
声明：
“制备SiO/C复合材料的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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复合材料
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