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具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料及其制备方法

744   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:14:03
本发明公开了一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料及其制备方法，包括以下步骤：步骤1、对Cf/SiC基体3进行表面处理、清洗并干燥；步骤2、将Cf/SiC基体3置于沉积室中的转盘上，并将钽金属粉末放于氧化室1中的反应容器中，对沉积室和氧化室抽真空后升温；步骤3、待温度稳定后，分别向氧化室和沉积室中通入氟气和氢气，氧化室中氟气与金属钽粉末反应生成前驱体五氟化钽，由于压强作用，五氟化钽流通到沉积室中与氢气发生还原反应沉积在Cf/SiC表面并形成钽金属涂层。解决了现有Cf/SiC复合材料易高温氧化烧蚀，隔氧能力弱，耐腐蚀性不高的问题。
声明：
“具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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