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表面等离子体纳米复合材料及其制备方法

1085   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:13:03
本发明提供一种表面等离子体纳米复合材料及其制备方法，包括基体材料，在基体材料表面溅射沉积金属钛薄膜，在金属钛薄膜表面溅射沉积铝铜合金薄膜，采用四氯化碳气相刻蚀的方法去除铝铜合金薄膜中的金属铝得到纳米多孔铜薄膜，在纳米多孔铜薄膜表面溅射沉积氮化钛薄膜，本发明提供了一种表面等离子体纳米复合材料及其制备方法，其目的在于克服现有技术中的成本高的缺陷，其制备方法简单、成本低、与硅气相工艺兼容。
声明：
“表面等离子体纳米复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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