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使用复合材料制作的精细掩模版

907   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:08:01
本发明掩模板技术领域，具体涉及一种使用复合材料制作的精细掩模版，包括以下步骤：S1：制备CMM掩模版基材与高分子结合的复合材料，在CMM掩模版基材的一面涂覆高分子材料，经高温环境固话后，冷却至室温；S2利用激光刻蚀的工艺在上述的CMM掩模版基材与高分子掩模版复合材料的高分子材料面上制备开口；S3：对CMM掩模版基材未涂高分子材料的Invar面，进行多次刻蚀，直到掩模版出现所需开口，过湿法刻蚀与激光刻蚀工艺在高分子材料上开口，解决了复合金属掩模版需要使用FMM掩模版材料短缺，同时提供了一种大尺寸OLED生产过程中，一种CMM掩模版与高分子材料复合而成的FMM。
声明：
“使用复合材料制作的精细掩模版” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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复合材料
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