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快速制备碳／碳复合材料坩埚的窄流感应耦合CVD 致密化方法

897   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:06:02
本发明涉及一种快速制备碳／碳复合材料坩埚的窄流感应耦合CVD致密化方法。该方法包括采用化学气相沉积工艺，在窄缝气流和感应耦合的协同作用下，高温反应室通入小分子烃和N2气混合气体，小分子烃在碳纤维坩埚预制体或低密度碳／碳复合材料坩埚坯体内部孔壁表面吸附并高温释放出热解碳，热解碳在热态碳纤维表面沉积，坯体密度不断提高，快速获得致密的碳／碳复合材料坩埚。本发明方法窄缝气流和感应耦合措施的协同作用下，有效抑制表面先结壳现象，允许采用较高的沉积温度和反应气体炉压，更快速的内外均衡致密化，提高质量、缩短周期、降低成本。
声明：
“快速制备碳／碳复合材料坩埚的窄流感应耦合CVD 致密化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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