本发明涉及一种SnO2‑MoSe2
复合材料的制备方法、MEMS二氧化硫传感器及其应用,属于MEMS气体传感器技术领域。本发明所述的SnO2‑MoSe2复合材料的制备方法,包括以下步骤:(1)MoSe2的制备:以钼酸钠和硒粉为原料,先后加入硼氢化钠、无水乙醇,进行水热反应,经过后处理得到MoSe2
纳米材料;(2)SnO2‑MoSe2复合材料的制备:用乙醇溶解MoSe2,然后加入SnCl4•5H2O,置于高压反应釜中反应;冷却至室温后,依次经过固液分离和干燥,最后将所得产物在氩气下退火处理。本发明制得的MEMS二氧化硫传感器灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高。
声明:
“SnO2-MoSe2复合材料的制备方法、MEMS二氧化硫传感器及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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