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利用化学气相沉积制备复合材料的装置及方法

724   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:45:02
本发明公开了一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置及方法，装置包括化学气相沉积设备，收集装置和喷雾设备，其中收集装置设置于化学气相沉积设备出料口处；收集装置包括收集面、设置于收集面下方带动收集面进行位移的传动轮以及与传动轮连接的用于驱动传动轮的电机；喷雾设备包括雾化喷头，所述雾化喷头与收集面相对设置。方法包括首先配制前驱体溶液，然后设定化学气相沉积后向炉腔中注入前驱体溶液，最后向化学气相沉积设备炉管出料口出来的薄膜上以喷雾形式喷射待复合材料，再经后续处理得到成品复合薄膜。本发明提供的装置和方法在制备复合材料过程中巧妙地采用喷雾方式进行材料复合，最大程度保持了复合材料中各复合成分自身的特性。
声明：
“利用化学气相沉积制备复合材料的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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复合材料
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