磁控溅射法制备HA/YSZ/Ti6Al4V梯度生物活性
复合材料，涉及生物复合材料骨种植体技术，具体如下：在HA粉体中加入占总质量20％～80％的YSZ粉体，热压烧结制备HA/YSZ复合靶材；将Ti6Al4V基体用金相砂纸磨光，对基体表面进行喷砂，喷砂后的基片先酸蚀再用NaOH溶液对其碱热处理；将HA靶材、HA/YSZ复合靶材和Ti6Al4V基体分别置入主溅射室和进样室，对主溅射室和进样室抽真空至5×10－5～8×10－5Pa，在进样室对Ti6Al4V基体进行预溅射清洗20～40分钟，将Ti6Al4V基体送入主溅射室，在主溅射室真空度至5×10－1～9×10－1Pa时调节功率起辉溅射，溅射2～4小时后从主溅射室取出试样，在热处理炉中进行后处理，后处理温度300～500℃，保温时间2～4小时。本发明涂层较薄，与基体附着强度高，Ti6Al4V基体温升低，涂层成分均匀稳定。
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“磁控溅射法制备HA/YSZ/TI6AL4V梯度生物活性复合材料” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：中冶有色技术网
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2025年03月28日 ~ 30日 
