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新型碳-碳纳米管复合材料高深宽比微结构的制作方法

708   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:34:02
本发明提供了一种新型碳-碳纳米管复合材料高深宽比微结构的制作方法，包括微型硅模具的制作、新型碳-碳纳米管复合材料及高深宽比微结构的制作，所述微型硅模具由紫外光刻和硅的深刻蚀技术制得；所述新型碳-碳纳米管复合材料由多壁碳纳米管和SU-8光刻胶混合所得的光刻胶-碳纳米管复合材料经碳化得到；所述高深宽比微结构可通过背底抽真空的方法在所述微型硅模具中制得。本发明融合了半导体领域的相关技术，工艺简洁、相关技术成熟、可应用于大规模生产，所得到的碳-碳纳米管复合材料的微结构有着较好的机械性能和较高的化学稳定性，可以得到宽度范围在5～100μm，深度范围在200～500μm的微结构，其最高深宽比可达100。
声明：
“新型碳-碳纳米管复合材料高深宽比微结构的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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