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平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备方法和设备

817   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:32:02
一种平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备方法,在坩埚内进行惰性气体加压使金属熔液经过坩埚底部的孔隙喷射到沉积基板上,基板在水平面上做往复运动,同时还可以在垂直地面方向上下运动。制备的设备包括:真空炉体和处于真空炉体内的沉积基板升降机构、沉积基板、低温惰性气体强制冷却装置、惰性气体喷射加压装置、坩埚喷枪组、感应加热装置、水平往复运动导板,处于真空炉体上的抽真空装置、排气阀、保护气体进气阀。本发明可以将多种金属及合金,通过熔炼,喷射制备成大块层状复合材料,通过强制冷却,可以获得大块沉积多层堆积的非晶、纳米晶金属材料。
声明：
“平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备方法和设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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