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负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法

1082   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:28:03
本发明公开了一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法，包括如下步骤：1)将石墨烯薄膜至于PECVD反应室中，设压力为5×10?4?10?3Pa，温度为200?600℃，等离子体产生的微波功率为300?500W，以氩气为载体，通入氟气，反应1?20h，得到氟化石墨烯薄膜；2)将得到的氟化石墨烯薄膜转移至原子沉积腔室中，采用惰性气体除气20min?30min，调节超真空反应腔的真空度为10?6?10?7Pa，调节温度为400℃?700℃；3)以银为靶材，通过电子束轰击蒸发形成银反应气源，通入到沉积腔室中，时间为20?100ns，再通入惰性载气50?200ns，重复步骤5?20min，交替通入银反应气源和惰性载气，在氟化石墨烯薄膜上生长形成纳米银，得到负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料。本发明得到的复合材料具有优良性能。
声明：
“负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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标签：
复合材料
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