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防静电耐火复合材料及其制备方法和半导体设备

1077   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:26:01
本发明提供了一种防静电耐火复合材料及其制备方法和半导体设备，涉及复合材料的技术领域。本发明提供的防静电耐火复合材料，采用环氧树脂、固化剂、导电剂和阻燃剂等原料制得，其中，阻燃剂包括氢氧化镁、玻璃粉、三聚氰胺氰尿酸盐和磷酸锌，通过氧化镁、玻璃粉、三聚氰胺氰尿酸盐和磷酸锌以及导电剂的协同配合作用，使得该防静电耐火复合材料具有良好的防火性能和防静电性能。本发明提供的防静电耐火复合材料的制备方法工艺简单，操作便利，适合于工业化规模生产。本发明还提供了一种半导体设备，采用上述防静电耐火复合材料制得。
声明：
“防静电耐火复合材料及其制备方法和半导体设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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