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压电复合材料制备方法

662   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:22:01
本发明公开了一种压电复合材料制备方法，其包括一下步骤：步骤一、用精密切割机在压电材料上切割出刻蚀导槽；步骤二、将切割后的压电材料放入刻蚀腔或者刻蚀液内进行刻蚀，控制刻蚀的速度和时间，当刻蚀的深度和宽度达到压电复合材料的设计要求后，停止刻蚀，制得压电晶柱；步骤三、清洗、烘干经过刻蚀的压电材料；步骤四、在压电材料的刻蚀导槽内进行非压电相的填充和固化成形，得到压电复合材料半成品；步骤五、减薄抛光后得到压电复合材料。其优点在于：方法简单，操作方便，不但克服切割‑填充法对高频压电复合材料制备的限制，又而且减弱等离子反应刻蚀工艺造成的压电材料各向异性倾角。
声明：
“压电复合材料制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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标签：
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