本发明公开了一种碳化硅分布均匀、制备成本低的单晶炉用碳陶
复合材料加热器制备方法,它包括以下步骤:⑴制备陶瓷浆料;⑵制备碳陶复合材料加热器湿坯;⑶制备碳陶复合材料加热器干坯;⑷粗加工;⑸气相沉积;⑹精加工;本发明实现了在室温下通过物理方式将
陶瓷粉体及包括石墨粉或
石墨烯的润滑剂引入到
碳纤维预制体中,经气相沉积后制备得碳陶复合材料加热器,具有工艺简单,生产周期短,制备成本低,导电性能好等特点;通过调整碳陶复合材料内陶瓷含量,能很好的控制碳陶复合材料的电阻率;制备的碳陶复合材料加热器的开气孔率为1﹪~9﹪,密度为1.5g/㎝
3~2.3g/㎝
3,抗弯强度为250MPa~480MPa,电阻率为10μΩ•m~300μΩ•m。
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