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二氧化硅-金刚石复合材料及其制备方法

940   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:20:01
本发明为一种二氧化硅‑金刚石复合材料及其制备方法,该复合材料为多层膜形成的体材料,每层膜是由SiO2和金刚石组成的混合相结构,制备时,先采用微波等离子体化学气相沉积法,在基体表面进行金刚石和SiC的共沉积,形成SiC‑金刚石混合相膜,然后再对SiC‑金刚石混合相膜进行氧化处理,使SiC转变为SiO2,制备形成SiO2‑金刚石混合相膜。重复SiC‑金刚石混合相膜的制备及SiC转变为SiO2的过程,使SiO2‑金刚石混合相膜不断增厚,最后在达到所需厚度后,去除基体,即获得SiO2‑金刚石复合材料。本发明的SiO2‑金刚石复合材料兼具氧化硅的透过性和金刚石良好的散热性,可用于需要良好透过性和散热性能的场合。
声明:
“二氧化硅-金刚石复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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