本发明为一种二氧化硅‑金刚石
复合材料及其制备方法,该复合材料为多层膜形成的体材料,每层膜是由SiO
2和金刚石组成的混合相结构,制备时,先采用微波等离子体化学气相沉积法,在基体表面进行金刚石和SiC的共沉积,形成SiC‑金刚石混合相膜,然后再对SiC‑金刚石混合相膜进行氧化处理,使SiC转变为SiO
2,制备形成SiO
2‑金刚石混合相膜。重复SiC‑金刚石混合相膜的制备及SiC转变为SiO
2的过程,使SiO
2‑金刚石混合相膜不断增厚,最后在达到所需厚度后,去除基体,即获得SiO
2‑金刚石复合材料。本发明的SiO
2‑金刚石复合材料兼具氧化硅的透过性和金刚石良好的散热性,可用于需要良好透过性和散热性能的场合。
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