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致密复合材料、其制造方法及半导体制造装置用部件

895   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:18:01
提供一种复合材料，所述复合材料与氧化铝之间的线性热膨胀系数差很小，并且具有充分高的导热系数、致密性和强度。本发明的致密复合材料包含37-60质量%的碳化硅颗粒，以及各自含量均低于所述碳化硅颗粒的质量百分比的硅化钛、钛碳化硅和碳化钛，所述致密复合材料具有1%以下的开口孔隙率。该致密复合材料的特性包括，例如40-570℃的平均线性热膨胀系数为7.2-8.2ppm/K，导热系数为75W/mK以上，以及四点弯曲强度为200MPa以上。
声明：
“致密复合材料、其制造方法及半导体制造装置用部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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