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含有氧化铝涂层的C/SiC复合材料坩埚

655   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:17:02
本发明涉及一种含有氧化铝涂层的C/SiC复合材料坩埚，属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域。本发明所述复合材料坩埚包括C/SiC复合材料坩埚本体以及涂覆在坩埚本体内表面的氧化铝涂层，且C/SiC复合材料坩埚本体中的陶瓷基体为非晶型SiC以及氧化铝涂层以γ‑Al2O3为主；以γ‑Al2O3为主的涂层与非晶型SiC陶瓷基体具有良好的适配性，结合强度高，在满足坩埚力学性能要求的基础上，一方面大大降低了Si蒸汽对坩埚的侵蚀，而且避免了对复合材料坩埚的机械损伤，提高了坩埚的使用寿命，一方面在单晶硅拉制过程中不会引入杂质成分，保证了拉制单晶硅过程中熔融硅的纯度，与同时使用石英坩埚和炭/炭复合材料坩埚相比，采用本发明所述复合材料坩埚拉制单晶硅的成本显著降低。
声明：
“含有氧化铝涂层的C/SiC复合材料坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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