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氧化铝-金刚石复合材料的制备方法

654   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:12:01
本发明涉及一种氧化铝-金刚石复合材料的制造方法,属无机复合材料制造工艺技术领域。本发明的制备工艺方法,其特征在于先由金刚石微粉均匀分布于纯氧化铝陶瓷体系中并通过热压烧结制成两相共存的复合基底,然后在此复合基底上,用热丝化学气相沉积法生长金刚石薄膜,最终制成具有大面积金刚石薄膜的氧化铝-金刚石复合材料;本发明的具体步骤包括:纯氧化铝陶瓷体系的制备、添加助烧剂、合成煅烧、添加金刚石微粉、复合基底的热压烧结、化学气相沉积金刚石薄膜,最后制成本发明的新型氧化铝-金刚石复合材料。本发明的复合材料适合于制作大规模集成电路的基片材料,可用作封装管壳的基片材料。
声明：
“氧化铝-金刚石复合材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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