合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 功能材料技术

> 抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法

抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法

1199   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
本申请揭示了一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法，该方法包括：在氧化层的表面沉积形成一层金属电极层；利用化学气相沉积法，在金属电极层的表面沉积一层绝缘层；在绝缘层表面沉积一层气敏材料层；利用涂布或印刷的方式，在气敏材料层表面沉积一层分离膜，分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径。本申请通过在制作MEMS气体传感器时，增加了分离膜，该分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径，从而使得干扰气体分子在分离膜的纳米通道内发生大量碰撞，无法通过分离膜，从而实现对干扰气体的阻隔，避免干扰气体对传感器内敏感材料的影响，提高了热式传感器的准确性，使热式传感器对目标气体选择性较好。
声明：
“抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
功能材料
上一个：汽车蓄电池的制造方法
下一个：基于超薄金属的太阳能电池的制备方法

与 “抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法” 相关技术

▪ 用于水质重金属检测的快速取样装置
▪ 金属矿物粒度的测量方法
▪ 选矿厂矿粉水冲洗系统
▪ 斑岩型多金属金矿的嵌布特征分析方法
▪ 先进航空发动机高温功能涂层研究进展
▪ 正极片及其制备方法和混合离子电池
▪ 用于电池制备材料的筛分设备
▪ 镀镍废水中低浓度镍的去除方法
▪ 采用超深中深孔的采矿方法
▪ 地质探矿用具有取样机构的钻头

相关功能材料设备推荐

超高强隔膜
手机用铝挤压材
各种机械轴承轴瓦轴套巴氏合金，锡基合金，铅基合金
行星式混凝土搅拌机
铟1
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪用于水质重金属检测的快速取样装置
▪金属矿物粒度的测量方法
▪选矿厂矿粉水冲洗系统
▪斑岩型多金属金矿的嵌布特征分析方法
▪先进航空发动机高温功能涂层研究进展
▪正极片及其制备方法和混合离子电池
▪用于电池制备材料的筛分设备
▪镀镍废水中低浓度镍的去除方法
▪采用超深中深孔的采矿方法
▪地质探矿用具有取样机构的钻头

报名参会
更多+

2024能源金属资源与材料湿法冶金论坛
2024能源金属资源与材料湿法冶金论坛
2024年11月22日 ~ 24日
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年12月13日 ~ 15日
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024年12月20日 ~ 22日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:218
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:115
4 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:112
5 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:111
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:97
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:69
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记