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抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法

1074   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
本申请揭示了一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法，该方法包括：在氧化层的表面沉积形成一层金属电极层；利用化学气相沉积法，在金属电极层的表面沉积一层绝缘层；在绝缘层表面沉积一层气敏材料层；利用涂布或印刷的方式，在气敏材料层表面沉积一层分离膜，分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径。本申请通过在制作MEMS气体传感器时，增加了分离膜，该分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径，从而使得干扰气体分子在分离膜的纳米通道内发生大量碰撞，无法通过分离膜，从而实现对干扰气体的阻隔，避免干扰气体对传感器内敏感材料的影响，提高了热式传感器的准确性，使热式传感器对目标气体选择性较好。
声明：
“抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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