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基于低能氩粒子束调制的二维晶体管及其制备与调控方法

1080   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
本发明公开了基于低能氩粒子束调制的二维晶体管及其制备与调控方法，属于光电响应探测技术领域，包括：由下向上层叠设置的衬底和功能层，还包括：左电极和右电极；其中，所述左电极和右电极位于所述功能层两侧。本发明还公开了上述二维晶体管的具体制备方法，同时，还公开了根据所述功能层性能辐照前和第一次、第二次辐照后的性能对比，来探究低能氩粒子对晶体管性能的调控方法。本发明提供的二维晶体管以及调控方法不仅在硬质器件中具有广泛的应用前景，在柔性器件应用方面也具有十分广泛的应用前景。
声明：
“基于低能氩粒子束调制的二维晶体管及其制备与调控方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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