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微电子电极组合件

1076   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
采用一种微电子电极组合件(1)，其具有布置在衬底(2)上的第一电极(3)，其中第一电极(3)具有由具有固态晶格的第一电极材料所制成的薄层，其中第一电极材料在与含氧化合物相接触时氧化并且具有钙钛矿或者钙钛矿衍生晶体结构，以及其中电极(3)具有背向衬底(2)的功能表面(4)，分隔层(5)布置在电极(3)的功能表面(4)上，这阻止功能表面(4)的区域中的电极材料的氧化，所述氧化改变电极(3)的性质。电绝缘功能层(6)布置在分隔层(5)上，以及第二电极(7)布置在电绝缘功能层(6)上。按照本发明，第一电极材料有利地具有化合物SrMoO3、SrMoO3‑aNa BaMoO3、SrVO3或Sr2MoO4其中之一，以及分隔层(5)具有化合物SrTiO3、DyScO3、GdScO3或SrHfO3其中之一。功能层(6)是具有分子式BaxSr1‑xTi1±yO3±z(优选地为Ba0.5Sr0.5TiO3)的化合物。电极组合件(1)形成变抗器。
声明：
“微电子电极组合件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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