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膜图案的形成法、膜图案、器件、电光学装置和电子仪器

1108   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明提供在围堰上不残留弹落的功能液的残渣、使该功能液确实地流入图案形成区域内、得到可靠性高的膜图案的膜图案形成方法,用该形成方法得到的膜图案、具备该膜图案的器件、电光学装置和电子仪器。本发明是将功能液(X1)配置在基板(P)上形成膜图案的方法,首先,在基板(P)上形成与膜图案的形成区域(34)相对应的围堰(B)。而且,将功能液(X1)配置在由围堰(B)区分的图案形成区域(34)内。而且,使功能液(X1)进行固化处理,形成膜图案。此时,在相对于围堰(B)的上面的功能液(X1)的前进接触角和后退接触角之差成为10°以上而且后退接触角成为13°以上的条件下进行功能液X1的配置。
声明：
“膜图案的形成法、膜图案、器件、电光学装置和电子仪器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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