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蒸镀装置及其控制方法、使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法

953   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
一种共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置，包括：腔室，蒸镀对象物设于腔室内；向蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源；向蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源；对第1蒸镀材料进行加热的第1加热部；对第2蒸镀材料进行加热的第2加热部；和控制第1加热部及第2加热部的加热控制部；加热控制部构成为能够将第1及第2加热部控制成第2蒸镀材料的升温比第1蒸镀材料的升温滞后预定时间而开始。
声明：
“蒸镀装置及其控制方法、使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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