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压电谐振器及其制作方法

707   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明提供了一种压电谐振器，包括底电极；压电层，叠设于底电极之上；顶电极，叠设于压电层远离底电极的一侧；声波反射层结构，形成于底电极远离压电层的一侧；以及，顶电极引出结构，位于压电层远离底电极的一侧；底电极、压电层、顶电极以及声波反射层结构共同交叠重合形成的空间区域定义为谐振区；顶电极引出结构于谐振区内与顶电极相连，并由谐振区内延伸至谐振区外，且顶电极引出结构与顶电极向压电层的正投影部分交叠。本发明还提供一种压电谐振器的制作方法。与相关技术相比，本发明的压电谐振器制作方法可以降低压电层生长缺陷对器件性能的影响，使这种压电谐振器结构具有更高的品质因数Q以及更高的有效机电耦合系数。
声明：
“压电谐振器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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