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体声波谐振结构及其制备方法、声波器件

1109   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本公开实施例提供一种体声波谐振结构，包括：衬底；依次位于所述衬底上的反射结构、第一电极、压电层和第二电极；其中，所述第一电极在所述衬底的正投影与所述反射结构在所述衬底的正投影的重叠区域为第一重叠区；第一凸起结构，位于所述压电层或所述第二电极相对远离所述衬底的一侧；其中，所述第一凸起结构在所述衬底的正投影与所述第一重叠区至少部分重叠；第二凸起结构，至少部分位于所述第二电极相对远离所述衬底的一侧；其中，所述第二凸起结构在所述衬底的正投影与所述第一凸起结构在所述衬底的正投影至少部分重叠；修频层，覆盖所述第二电极、所述压电层、所述第一凸起结构和所述第二凸起结构相对远离所述衬底的表面。
声明：
“体声波谐振结构及其制备方法、声波器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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