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大面积微纳图形化的装置和方法

1010   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明公开了一种大面积微纳图形化的方法和装置，该装置机架、工作台、承片台、衬底、压印材料、软模具、滚轮、紫外光光源、压印机构、真空管路、压力管路。基于该装置实现大面积微纳图形化的方法：(1)预处理；(2)压印和固化；(3)脱模；(4)后处理。该方法充分结合了平板型纳米压印和滚轮型纳米压印工艺的优势，通过滚轮、软模具、工作台和气路系统的密切配合，完成大面积压印和脱模操作。实现在超大尺寸、非平整刚性衬底(硬质基材或基板)、或易碎衬底上高效、低成本规模化制造大面积微纳米结构，解决了米级尺度超大尺寸刚性衬底的大面积微纳米图形化难题。具有结构和工艺简单、效率高、成本低、压印图形精度高和缺陷率低的特点。
声明：
“大面积微纳图形化的装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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