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光刻制造双面触摸传感器的方法

739   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
一种在衬底的两个表面上具有导电电路的触摸传感器是通过在所述衬底中包含UV阻挡材料或在所述衬底上沉积UV阻挡层来制造的。这可用于制造具有透明导体电路或具有对可见光不透明的金属电路的传感器。将光刻胶施加到所述衬底的两个表面上，且通过曝光于UV辐射将图案转印到所述光刻胶。所述UV阻挡层防止施加到一侧的UV辐射曝光相对侧。如果需要，可通过分开一个UV光束来同时曝光两个光刻胶层。
声明：
“光刻制造双面触摸传感器的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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