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光刻胶组合物、制备方法及图案化方法

713   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明涉及光刻胶领域，尤其涉及一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法。所述光刻胶组合物，包括以下组分：1～10wt％的感光剂；10～20wt％的酚醛树脂；0.1～5.5wt％的添加剂；75～88wt％的溶剂；其中，所述感光剂包括：20～70wt％的式(1)所示的第一感光化合物，20～70wt％的式(2)所示的第二感光化合物，以及1～35wt％的式(3)所示的第三感光化合物。本发明的光刻胶组合物同时保证了分辨率以感度，以满足实际生产的需求。经过试验测试，本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米，且最小分辨率可以达到1.5微米，同时感度较快，有利于精确图案化，提高OLED显示面板的产率。
声明：
“光刻胶组合物、制备方法及图案化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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