一种装置,包括:腔室和可拆卸地连接到该腔室的喷嘴,该喷嘴限定孔口;设置在腔室内的靶转盘;第一激光器,其被配置成生成第一光束,该第一光束被引导朝向靶转盘以执行原位烧蚀来形成激光羽流;气体流系统,其被配置成将气体供应到腔室中,使得气体与激光羽流相互作用并引起纳米颗粒的凝结和形成;以及第二激光器,其被配置成生成第二光束,该第二光束被引导通过腔室的内部、通过喷嘴的孔口,并且朝向设置在装置外部的基底,该第二激光束被配置成将离开喷嘴的纳米颗粒烧结和结晶在基底上。
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