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脉冲激光微沉积图案形成

599   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本申请披露了一种利用脉冲激光在透明基片上形成图案的方法。不同的实施例包括超短脉冲激光,对于激光波长透明的基片,和靶板。激光束被引导通过透明基片并聚焦在靶表面上。靶材料被激光烧蚀并且被沉积在相对的基片表面上。通过相对于靶扫描激光束形成图案,例如灰度图像。激光束扫描速度和扫描线密度的变化控制了材料沉积并且改变了沉积图案的光学特性,产生视觉效果的灰度。在一些实施例中,在制备过程中可在微电子设备的一部分上形成图案。在一些实施例中,高重复频率皮秒和纳秒源被设置成产生图案。
声明：
“脉冲激光微沉积图案形成” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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