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复合密度和刚度的微机电固态陀螺仪

947   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
一种微机电系统技术领域的复合密度和刚度的微机电固态陀螺仪,包括:检测质量块、起振驱动机构和检测机构,其中:检测质量块的上表面和下表面分别对称设有两组相同的起振驱动机构和检测机构;所述的起振驱动机构包括两个对称设置于检测质量块上表面的驱动电极;所述的检测机构包括:信号干扰隔离电极、角速度检测电极和模态检测电极,其中:四个角速度检测电极两两对称地设置于检测质量块下表面的外沿,两个模态检测电极对称布置于检测质量块下表面的中部,信号干扰隔离电极环绕设置于模态检测电极的外侧。本发明不需要专门的支撑梁结构,整体结构简单,抗冲击能力大,不需要真空封装,陀螺性能可大大提高。
声明：
“复合密度和刚度的微机电固态陀螺仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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