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含硅氧烷的可光图案化沉积抑制剂

984   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
一种用于形成图案化薄膜的原子层沉积工艺,包括提供基材,向基材上施加可光图案化的沉积抑制剂材料,其中所述沉积抑制剂材料包括有机硅氧烷化合物;图案化所述沉积抑制剂材料。所述薄膜基本上只沉积在基材上不具有沉积抑制剂材料的选区内。
声明：
“含硅氧烷的可光图案化沉积抑制剂” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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