一种多功能探针头,由探针、弹簧片、套筒、导线 等组成,采用耙形弹簧片并用环氧定位环安装定位的 结构,使弹簧片与探针达到准确对位,探针恒压可靠, 从而提高探针头的测量精度和保护被测物体表面不 易损伤。 本实用新型结构精密,耙形弹簧片占用平面长度 短,体积小,加工制造容易,成本低,并可针对不同的 测量对象,选用特定材料及形状的金属探针,具有可 以测量
半导体材料、
功能材料、导电薄膜的电阻率、面 电阻、型号及击穿电压等多种功能。
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