合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 功能材料技术

> 集成标准CMOS工艺的电阻存储器及其制备方法

集成标准CMOS工艺的电阻存储器及其制备方法

761   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:09:02
本发明涉及微电子技术领域，具体是一种集成标准CMOS工艺的电阻存储器及其制备方法，该方法包括：在常规CMOS工艺完成前段工艺至钨栓塞形成后，沉积金属层间介质层；之后将存储阵列部分钨栓塞上方的介质层打开，形成与钨栓塞部分错开的孔洞，露出一部分钨栓塞；随后生长金属氧化物功能材料、电极材料、扩散阻挡层、仔晶铜以及电镀铜，最后用化学机械抛光形成存储单元。本发明方法可以实现突破常规光刻工艺的器件尺寸，且有助于固定电阻存储器导电细丝的形成位置，增强器件的均一性。
声明：
“集成标准CMOS工艺的电阻存储器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
功能材料
上一个：光固化制备多孔纳米二氧化钛薄膜的方法
下一个：铌酸钾钠基氧化物上转换发光材料及制备方法

与 “集成标准CMOS工艺的电阻存储器及其制备方法” 相关技术

▪ 单晶硅的磨削方法
▪ 加料机
▪ 土木工程用砂石智能筛分设备
▪ 矿山设备油管清洗设备
▪ 氧化镓单晶制备方法
▪ 刀片高度测量装置及半导体加工的划片机
▪ 用于金属连续铸造的石墨模具
▪ 重大突破，Nature Sustain.：盐湖提锂，锂离子回收率高达近90%
▪ 我国学者在界面光热盐湖提锂技术研究方面取得进展
▪ 提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统

相关功能材料设备推荐

铝合金电机外壳铝型材
纳米材料制备设备
四柱立式铝屑压饼机
金属结构件机
原子层沉积系统
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪单晶硅的磨削方法
▪加料机
▪土木工程用砂石智能筛分设备
▪矿山设备油管清洗设备
▪氧化镓单晶制备方法
▪刀片高度测量装置及半导体加工的划片机
▪用于金属连续铸造的石墨模具
▪重大突破，Nature Sustain.：盐湖提锂，锂离子回收率高达近90%
▪我国学者在界面光热盐湖提锂技术研究方面取得进展
▪提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
中国新能源材料与器件第七届学术会议
中国新能源材料与器件第七届学术会议
2025年03月28日 ~ 30日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:224
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:117
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:114
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:113
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:99
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:70
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记