本发明公开了一种蒸镀设备,包括:真空腔体;若干防着板,设置于所述真空腔体内,所述若干防着板拼接以形成具有开口的容纳空间;黏附腔体,设置于所述容纳空间内,所述黏附腔体上具有与所述开口相对的蒸发口;蒸发源,设置于所述黏附腔体内,所述蒸发源与所述蒸发口相对。本发明公开的一种蒸镀设备,通过在真空腔体中设置黏附腔体,将蒸发源设置于黏附腔体内,并在黏附腔体正对蒸发源位置上开设蒸发口,可以减小蒸发源的蒸发范围,减少有机
功能材料在防着板上成膜,提高了材料利用率,同时有利于材料的回收。
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