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BN溅射模板、正装LED元器件的制造方法

853   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:09:02
本发明公开了一种制造BN模板的方法，包括底层和生长在底层上的模板层，模板使用溅射系统在底层上生长，与底层一起作为功能层，可以用于制备各种光电子或者微电子功能材料。
声明：
“BN溅射模板、正装LED元器件的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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