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无基板Mg基储氢薄膜及其制备方法

1072   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:09:02
本发明属于功能材料技术领域，具体涉及一种无基板Mg基储氢薄膜及其制备方法。制备步骤包括：在基板上旋涂光刻胶牺牲层，再依次磁控溅射沉积TM/Mg基/TM多层功能储氢薄膜，溶解光刻胶牺牲层从衬底上剥离储氢功能薄膜，离心洗涤并在真空室温环境下干燥获得新型纳米结构的Mg基储氢材料。本方法制备的无基板Mg基储氢薄膜材料改善了现有方法中基板与薄膜间应变引起的薄膜破裂、脱落等情况，并且将有效含氢量所占体系质量从0.0025%最高提升至7.4%。此外，无基板Mg基储氢薄膜材料具有强抗氧化能力和低脱氢温度，并能在近室温条件实现可逆加氢反应。
声明：
“无基板Mg基储氢薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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