合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 功能材料技术

> 集成标准CMOS工艺的金属氧化物电阻存储器及其制备方法

集成标准CMOS工艺的金属氧化物电阻存储器及其制备方法

716   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:09:01
本发明涉及微电子技术领域，具体是一种集成标准CMOS工艺的金属氧化物电阻存储器及其制备方法。该方法包括：在常规CMOS工艺完成前段工艺至钨栓塞形成后，沉积金属层间介质层；之后将存储阵列部分钨栓塞上方的介质层打开，形成第一层金属布线沟槽，露出钨栓塞；随后生长金属氧化物功能材料、电极材料、扩散阻挡层、仔晶铜以及电镀铜，最后用化学机械抛光一步形成存储单元及第一层金属布线。本发明方法工艺简便，在标准工艺的基础上不需要额外增加光照步骤，成本低，效果好。
声明：
“集成标准CMOS工艺的金属氧化物电阻存储器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
功能材料
上一个：二阶非线性光学聚芳酯材料及其合成方法和应用
下一个：陶瓷/熔盐双相复合气体分离膜的制备方法

与 “集成标准CMOS工艺的金属氧化物电阻存储器及其制备方法” 相关技术

▪ 矿物开采用洗矿设备
▪ 基于遥感技术的地质勘探定位方法及系统
▪ 可防碎屑溅射的金属矿样采取装置
▪ 金属非金属矿山采矿用防塌支持装置
▪ 矿石锡元素的测定方法
▪ 深切割地形条件下锶矿找矿方法及系统
▪ 矿用卡车防高坠安全设备
▪ 用于矿用重载卡车的智能除尘系统及方法
▪ 无人驾驶矿用卡车的快速卸料方法
▪ 矿用掘进机

相关功能材料设备推荐

DEX行星式搅拌机
高真空管式炉制样台
钛及钛合金3D打印粉
镀铂铌网阳极
氢气光亮退火炉
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪矿物开采用洗矿设备
▪基于遥感技术的地质勘探定位方法及系统
▪可防碎屑溅射的金属矿样采取装置
▪金属非金属矿山采矿用防塌支持装置
▪矿石锡元素的测定方法
▪深切割地形条件下锶矿找矿方法及系统
▪矿用卡车防高坠安全设备
▪用于矿用重载卡车的智能除尘系统及方法
▪无人驾驶矿用卡车的快速卸料方法
▪矿用掘进机

报名参会
更多+

2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024年12月27日 ~ 29日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:221
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:116
4 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:112
5 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:112
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:97
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 废旧磷酸铁锂电池梯次及再生利用
下载:69
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记