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基于氧化镓的三维日盲光电探测器

1071   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:08:02
本发明的提出了一种基于氧化镓的三维日盲光电探测器，为高性能3D日盲光电探测器的制备和研究奠定基础。本发明是按照下述步骤进行的：(1)清洗柔性衬底；(2)采用射频磁控溅射技术在柔性衬底上室温沉积a‑Ga2O3薄膜；(3)在a‑Ga2O3薄膜上利用热蒸发技术在上面蒸发一层金属薄膜；(4)采用光刻技术在有金属薄膜的a‑Ga2O3上制备电极，得到具有MSM结构的2D光电探测器阵列；(5)采用剪切折叠技术，把2D光电探测器阵列制备成3D光电探测器。本发明利用简单的剪切和折叠技术制备3D日盲光电探测器。该制备方法工艺简单、成本低廉，而且选用非晶Ga2O3作为日盲光响应层，有效改善了在弯折过程中，功能材料的断裂和脱离现象。
声明：
“基于氧化镓的三维日盲光电探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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